Layanan journal yang disediakan oleh Perpustakaan Universitas Gunadarma
| Judul Artikel | : | ANALISIS PERMUKAAN DENGAN TEKNIK HAMBURAN BALK RUTHERFORD |
|---|---|---|
| Judul Terbitan | : | Jurnal Ilmiah Teknologi & Rekayasa |
| ISSN | : | 1410-9093 |
| Bahasa | : | IND |
| Tempat Terbit | : | Depok |
| Tahun | : | 0000 |
| Volume | : | Vol. 8 Issue 2 0000 |
| Penerbit | : | Universitas Gunadarma |
| Frekuensi Penerbitan | : | 3x per Tahun |
| Penulis | : | Busono Soerowirdjo |
| Abstraksi | : | Hamburan balik Rutherford digunakan untuk memprofil atom-atom impuriti dibawah permukaan lempeng silikon. Hal ini diperoleh dengan cara konversi yield dan energi menjadi konsentrasi dan kedalaman penetrasi atom-atom impuriti kebawah permukaan. Eksperimen pada ion-ion arsen yang diimplantasikan ke dalam lapisan silikon polikristal menunjukkan adanya kesesuaian yang baik antara eksperimen dengan teori. |
| Kata Kunci | : | profil arsen; hamburan balik ruthen`ord; silikon polikristal |
| Lokasi | : | p.57 |
| Terakreditasi | : | belum |